��ࡱ�>�� ������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������7����  !"#$%&'()*+,-./0123456����89:;<��������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Root Entry�������� �F��&�K��SummaryInformation(�����DocumentSummaryInformation8������������hWordDocument��������.`���� �������� !"#$%&'()*+,-./0123456789:;�������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Oh��+'��0��������� ( 4 @ LX`hp�� RX7�WASۏ_5u�[�{aNormal THQu1@@S�/6O@ �N�)�@�BߒK���/Microsoft Office Word����՜.��+,��D��՜.��+,����H�PXdlt |��  �(\�dlKSOProductBuildVer�2052-11.1.0.8527&0Table����( Data ����������������WpsCustomData������������ ���������������� P�pKSKS�.`8�������nng nT����&  $�hiF�{ �; , RX7�WASۏ_5u�[�{ O(u�ffN Nwm�^{v5ul�y�b gP�lQ�S N0(u� RX7�W5u�[�{/fN�y�|�[�v�e��_ASۏ5u�[�{0�]\O(W�NAm���s1500Hz��V�Q�v5u�-N ��S\O:N�NAm5ueh�v�S�S;��b ��n�l5uvCQ�N�N�SvQ�N���5u�[��(W�_'Y��V�Q�SS�v5u�-N ��(u(Wzzl)n�^+10!0R+35! ��v�[n�^30% 80%�N�Q�v�]\Oag�N0 �N0�b/gyr'` 10ĉ�� �W_�[ϑ ��F ��el�pe�S�S��V ��F �g\ekۏ ��F �RX7-00-1.1114�0-10 �� (0.0001+0.001+0.01+0.1)0.0001RX7-10-1.103(0-10) �(0.001+0.01+0.1)0.001RX7-20-1.102(0-10) �(0.01+0.1)0.01RX7-30-0.112(0-10) �(0.001+0.01)0.001RX7-40-1.001(0-10) �0.10.1RX7-50-0.101(0-10) �0.010.01RX7-60-0.011(0-10) �0.0010.00120�Qnx�^ 10�0.1�F�0.5% 10�0.01�F�0.65% 10�0.001�F�2% 10�0.0001�F�5% c N_���{�e�^u��[Џ�N� NRag�N� �1 �hT�V)n�^+20!�5! � �v�[)n�^:N30%-80% �2 ��]\O���s800�1000Hz0 �3 ��]\O5u�S�50V� gHe

e5u0 �N0�O�{Џ���T�O�� 105u�[hV�^>e(W�[)n�+0!0R+35!�S�v�[)n�^30%-80% �zzl�Q N+T g_w�P���lSO�T g�[ir(�0 20�N�T(Wcknx�vO(u�T�~�b N�(W N4xOW\pS�`�Q N � ���Q�S�ew� ��O��Џ(ugP�:N18*Ng0  "$&(*,.02468:<>@BDF^������ǿ�������wog_WO?CJ,o(aJ,5mH sH nHtHCJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�^`bdlnth j v x � � � � � � � � � � � � � � � � � ������ſ���������ysmga[UOI CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5�CJo(aJ5�CJo(aJ5� CJo(5� CJo(5�o(CJo(aJ5�CJo(aJ5�CJ,o(aJ,5�CJ,o(aJ,5�"CJ,PJo(aJ,5�mH sH nHtH� � � � � � � � * , 8 < F H T V X Z � � � � � � � � � � � � ���������ý����������{uoic]WQ CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5�� � � � �     0 2 < @ J L X Z \ ^ t v | � � � � � � � � ���������ý����������{uoic]WQ CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5�� � � � � � � � � � � �    2 4 R T n p � � � � � � � � ���������ý����������{uoic]WQ CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5��   < > h j � � � �   *.0PTVx|~����������������ý���������}wqke_YSM CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5�H* CJo(5� CJo(5� CJo(5�H* CJo(5� CJo(5� CJo(5�H* CJo(5� CJo(5� CJo(5�H* CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5��������������   $&*,0268���������ý����������{uoic]WQ CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5�8<@TVZ\lnz~���������������������������ý����������{uoic]WQ CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5�  &*46JLNR\^rtvz��������NR���������ý����������{ume_YSL CJo(5�H* CJo(5� CJo(5� CJo(5�CJo(aJ5�CJo(aJ5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5�R��  RT�� fh�����  lnp�����������������������{yo( CJo(5� CJo(5�o(o( CJo(5�o(CJo(aJ5�CJo(aJ5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5� CJo(5�CJo( CJo(5�CJo(o(CJo(aJ5�CJo(aJ5� CJo(5� CJo(5�"$&(*,.02468:<>@B������������������a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$a$$BDF`bdnj x � � � � � � � � ���������������� a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If��`��a$$a$$a$$a$$a$$� � � � � �<3* a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������r��8� ,lX ���������������������������������� a$$$If� � , : < ���*�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������r��8� ,lX ���������������������������������� a$$$If a$$$If a$$$If< H V Z � � ����� a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If� � � � � E<3* a$$$If a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������r��8� ,lX ����������������������������������� � � � � ��3* a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������r��8� ,lX ���������������������������������� a$$$If a$$$If�   2 > ���� a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If> @ L Z ^ E<3* a$$$If a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������r��8� ,lX ����������������������������������^ v ~ � � ��3* a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������r��8� ,lX ���������������������������������� a$$$If a$$$If� � � � � ���� a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If� � � � � E<3* a$$$If a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������r��8� ,lX ����������������������������������� �  ��3-��`���$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������r��8� ,lX ���������������������������������� a$$$If a$$$If 4 T p � � � �  > j � � 0V~��������������������`����`����`����`����`����`����`����`����`����`����`����`����`����`����`����`����`�������������������� a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If��`�� �$$If:V��4�4�l4�4�l��0��������ִ���� 8a��� ������������ ��������� ��������� ��������� ����������  &,28>��������� a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If a$$$If >@�$$If:V��4�4�l4�4�l��0��������ִ���� 8a��� ������������ ��������� ��������� ��������� ����������@V\n|~�����NE a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������F��pP!������� ���� ���� ���� ����� a$$$If a$$$If a$$$If���������YPG> a$$$If a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������F��pP!������� ���� ���� ���� ����� a$$$If a$$$If�����kbYP a$$$If a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������F��pP!������� ���� ���� ���� �������  (kbYP a$$$If a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������F��pP!������� ���� ���� ���� �����(*6LPkbYP a$$$If a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������F��pP!������� ���� ���� ���� �����PR^txkbYP a$$$If a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������F��pP!������� ���� ���� ���� �����xz���kbYP a$$$If a$$$If a$$$If�$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������F��pP!������� ���� ���� ���� ��������� T�kic][YSM��`����`����`����`���$$If:V���4�4�l4�4�l��0���������F��pP!������� ���� ���� ���� �����h�� np��������`����`��,��. ��A!�#��"�$��%��S��2P1�866666666���� 0@P`p������6666 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p��N@��Nck�e a$$1$$CJPJaJKHmH sH nHtH_H$A@���$؞���k=�W[SONi@���Nnf�h� ^ � � �  �>@���(Px�p !"#$%&'()*+,-./8G��z ��Times New Roman-���(�[SO;��Wingdings�� RX7�WASۏ_5u�[�{a THQu ���QhLʆq�s��/ yZ&!),.:;?]}����    & 6"0000 0 0 00000��� � �����=�@�\�]�^���([{�  0 0 00000��;�[�����������P)��?��q�2�++++�2 c���q�x��'�q8`����� ��z��0�( � ��* �3 ���?�@